1、潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)至少應(yīng)有初效、中效和高效過濾器三級過濾措施。尤其是在終端應(yīng)有高效過濾器(HEPA)或超高效過濾器(ULPA)。
2、潔凈室送風(fēng)應(yīng)有足夠的空調(diào)(消除室內(nèi)余熱、余濕)和凈化(保持潔凈度)送風(fēng)量。其送風(fēng)量不僅能消除室內(nèi)的余熱和余濕，保證室內(nèi)的溫度和相對濕度，同時還能消除或稀釋室內(nèi)的粒子污染，保證室內(nèi)的潔凈度要求。
3、潔凈室必須建立和維持必要的相對壓差(正壓或負(fù)壓)。
4、潔凈室應(yīng)有合理的氣流流型，以保證其室內(nèi)的潔凈度和溫、濕度等參數(shù)。
